Better Reliability,Better Operation
英文简易操作
功率调节
内置两路气路,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易,智能化设计,避免误操作
采用数字显示压力,实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统,触摸屏控制,人机界面友好
电流实时监测,确保仪器稳定安全运行
中文简易操作
VP-S5触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置,等离子处理时间*到秒(s)
PLASMA处理结束后,自动泄压,泄压时长和大小可调,可通入氮气泄压
清洗功率连续可调
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