光的干涉是指从目标对象表面到某点的光距(光路)产生偏差时，所发生的现象。利用这种现象测量目标对象表面凹凸的就是光学干涉仪。右图是干涉应变计的结构图。从光源(半导体激光等)发出的光有一些透过分光镜到达参考面上，其余被反射到样本表面。透过的光经参考面反射通过光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光经目标对象表面反射透过分光镜，同样通过光接收元件即CCD元件成像。
白光干涉仪就是利用光学干涉原理研制开发的表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。
由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。
白光干涉仪的测量使用步骤：
以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准目镜的下方。
在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测，特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
