台积电强调，该公司的产能增长，包括EUV光刻在内的工艺都可以按计划完成，不担心ASML的履约能力。
目前台积电的7nm及以下工艺产能都需要EUV光刻机，根据财报透露的信息，在第四季度，台积电7nm制程芯片的出货量占到了总晶圆出货量的27%，而5nm制程芯片占比则为23%。
至于ASML，根据他们之前的信息，虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早，但这次事件影响的主要是EUV光刻机生产，DUV光刻机不受影响。
EUV光刻机是生产7nm以下工艺的关键设备，ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商，每台售价1亿欧元，将近10亿人民币，去年交付了35台EUV光刻机，今年计划交付55台EUV光刻机，三星、台积电及Intel是主要的客户。
