XRF荧光光谱仪根据其分光原理不同分成波长色散型X荧光光谱仪（波谱仪，WDXRF）和能量色散型X荧光光谱仪（能谱仪，EDXRF）。我们通常所说的X荧光光谱仪就是指波长色散的仪器。
1、XRF荧光光谱仪的优势
（1）制样简单。通常情况下是物理制样。试样经过简单的破碎、研磨成粉末压片或熔融制成。
（2）分析范围广，理论上从四号元素Be到92号元素铀均可进行分析。
（3）测量范围宽，从0.001%到100%均可进行分析。
2、XRF荧光光谱仪的局限性
（1）各公司宣传XRF荧光光谱仪的分析范围从PPM到100%。实际上仪器的分析下限受所分析试样的基体影响很大。如果分析碳氢化合物中的元素，检出限可以达到到PPM，如石油中硫S的分析，地质样品中则只能达到10PPM，而在铅合金中检出限要50PPM以上。XRF无法进行纯金属材料分析，纯金属材料中各元素的含量均很低。
（2）不锈钢中的五害元素也不能用XRF进行分析。传统上，不锈钢生产企业通常用XRF荧光进行过程控制分析，主要是直读光谱仪对高含量元素铬、镍的测量精度不能令人满意。一台仪器就能满足合金成份与微量元素的全部测定。便目前不锈钢生产企业就只能用直读光谱仪来测量微量元素了，因当今材料要求五害元素的含量比国家标准要低得多。
（3）XRF对标样的依赖性很强。试样的颗粒度、组成、结构差异等均会对分析结果产生很大影响。
