5月16日上午，山东省新旧动能转换项目推进会暨“双招双引”工作表彰大会观摩团一行来到淄博，观摩第一个项目：淄博高新区MEMS产业孵化器项目。
淄博高新区通过淘汰高耗能、高污染落后产能，高标准规划建设以MEMS产业孵化器为核心的电子信息产业园，规划面积5000余亩。园区实行“园区管委会+运营公司+产业基金+N服务”的创新管理体制，与清华同方、北航大学科技园等国内知名机构合作，共同建设了国家级电子信息科技企业孵化器、MEMS研究院、MEMS产业孵化器、北航天汇科技孵化器（淄博）科创中心和省级MEMS众创空间等10个创新创业平台。园区立足打造MEMS、集成电路、智能传感器、仪器仪表等优势产业链和产业聚集区，聚集了新恒汇、齐芯微、台湾强茂电子等45家企业入园发展，可为入园企业及高层次人才提供设计、研发、中试、孵化、产业化等功能为一体的科研产业化综合服务。
园区与清华大学合作共建的国家高新区MEMS研究院，建有国际先进的6英寸硅基MEMS中试研发平台，成立了以丁衡高、尤政院士为首的专家委员会和“尤政院士工作站”，目前正积极筹建清华大学MEMS工程硕士研究生班。研究院现有院士4名、国家****专家7名，吸引了43位国内外MEMS领域的高层次人才在平台进行研发中试和小批量生产，累计开发MEMS单项工艺百余项、产品工艺30余套。
平台自主研发的硅微机械陀螺、加速度计、继电器等产品，技术填补国内空白；与崔波、周斌、周宁宁等国内外高层次人才团队，联合研发国内外技术领先项目25个；引进香港新科实业（TDK）、广东盈动高科、航天科工等高端产业项目66个，形成了集MEMS传感器设计研发、工艺加工、封装测试、产品应用等为一体的综合性研发产业基地。淄博高新区将抢抓山东推进新旧动能转换重大机遇，聚焦军工、工业电子、消费电子三大MEMS应用领域，聚集人才、资金、技术等各类创新资源，推动MEMS产业做大做强，努力打造生态体系完备的千亿级MEMS产业集群，为山东新旧动能转换、走在前列增添“芯”力量、作出“芯”贡献。
MEMS产业集群传感器
