无油真空泵的工作介质为催化尾气经装置提取浓缩后的产品气，其主要成分为乙烯、乙烷，此介质为重要的化工原料。因为气体纯度不高，且含有腐蚀性介质，造成无油螺杆真空泵振动异常、故障频发。
真空泵的故障处理
真空泵启动困难
电源有故障 检查是否断电，或者电源缺相
异物入泵,叶轮卡死 用水冲洗，或者开泵检查
填料压得过紧 松开调料压盖螺栓，启动泵后，慢慢拧紧压盖螺栓，至有点水外流为止
水垢或者铁锈 用10%草酸浸泡30-—60分钟
工作液过多 调整工作液，高度至泵的轴心线
电机跳闸或者过载
绕组短路 检查电机绕组
工作液量过大 调节工作液入口阀门，降低工作液流量
排气压力过高 降低排气压力至规定范围
吸入气体中液体含量过多 在入中处加装分离器，或者降低工作液量
没有真空
电机转向错误 更换两根导线
无工作液进入泵内 检查工作液
系统严重漏气 打压检漏，并修复
进气阀门没开 打开进气阀
真空度低
工作液流量小 增加工作液流量，同时观察电机电流不能过载
工作液温度过高 降低工作液温度
系统轻度泄露 更换密封(若填料密封，紧固压盖螺栓)
真空表不准 更换真空表
排气阀脱落 更换排气阀
泵的选型小 更换大的泵
当地大气压低 考核压力
叶轮腐蚀或汽蚀 更换叶轮
振动/噪音大
气蚀严重 加气蚀保护装置
工作液量过大 降低流量，方法，加装孔板或者流量计
连轴器对中不好 重新校连轴器的同心度，使其符合国家标准或者行业标准。
底脚螺栓没固定好 紧固死底脚螺栓
叶轮不平衡 重新对叶轮作平衡
小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。
微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。
